三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體,是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。
儲存及運輸
三氟化氮氣瓶應(yīng)儲存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)。三氟化氮氣瓶應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、防止陽光直射,與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。
三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸,防止鋼瓶及附件破損。
三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好,用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
泄漏應(yīng)急處理
如遇有三氟化氮氣體泄露,工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū),并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進(jìn)一步泄露。如有工作人員中毒,應(yīng)立即送往醫(yī)院救治。
泄露現(xiàn)場要盡快處理,處理泄露現(xiàn)場的工作人員必須配戴必要的防毒面具,最好是自給正壓式呼吸器。泄露現(xiàn)場經(jīng)檢測無危害氣體后方可進(jìn)入工作人員,泄露容器必須經(jīng)仔細(xì)檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用。
三氟化氮氣體產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(QJ58-2007)
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